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硅烷

硅烷在半導體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等,還可用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器等。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)??捎糜谥圃旄呒兌榷嗑Ч琛尉Ч?、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物等。因為它高純度和能實現(xiàn)精細控制,已成為許多其他硅源無

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硅烷在半導體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過氣相淀積制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料、以及離子注入源和激光介質(zhì)等,還可用于制作太陽能電池、光導纖維和光電傳感器等。

硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業(yè)??捎糜谥圃旄呒兌榷嗑Ч?、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物等。因為它高純度和能實現(xiàn)精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。

硅烷氣是太陽能電池生產(chǎn)過程中不可或缺的材料,因為它是將硅分子附著于電池表面的最有效方式。在高于400℃的環(huán)境下,硅烷氣分解成氣態(tài)硅和氫氣。氫氣燃燒后,剩下的就是純硅了。此外,硅烷氣可以說是無處不在。除了光伏產(chǎn)業(yè)外,還有很多制造工廠需要用到硅烷氣,如平板顯示器、半導體、甚至鍍膜玻璃生產(chǎn)廠。


硅烷 硅烷氣體 5N高純硅烷氣

英文名稱:Sulfane

CAS號:7803-62-5

分子式:SiH4

分子量:32.12

規(guī)格:99.999%

包裝:44L、47L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要,分裝到8L的氣瓶中


熔點(101.325kPa): -185.0℃

沸點(101.325kPa): -111.5℃

液體密度(-185℃): 711kg/m3

氣體密度(0℃,100kPa): 1.42kg/m3

相對密度(氣體,空氣=1,20℃,101.325kPa):1.114

比容(21.1℃,101.325kPa): 0.7518m/kg

氣液容積比(15℃,100kPa):412L/L

臨界溫度: -3.4℃

臨界壓力:4843kPa


Tel:

+86-021-36100316

Address

Room 709, 55 Feila Road, China (Shanghai) Pilot Free Trade Zone

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08:00-19:00

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